半导体芯片电路线宽显微测量精度分析

http://www.microimage.com.cnMiffy(2011-02-16 14:24:14)

 

余厚云;邓善熙

中文摘要:
在显微图像的尺寸测量中,由于各种因素的影响,测量结果不可避免地存在着误差。为了充分认识并进而减小这些误差,提高测量精度,文章对标准件标定、显微光学系统的景深、对焦、光照亮度以及温度等影响测量结果的误差源作了细致的研究,给出了半导体芯片电路线宽显微测量结果及精度分析。

关键字:半导体芯片;显微测量;精度分析

中图分类号: 文献标识码: 文章编号:

作者简介:
余厚云(1975—),男,硕士,南京航空航天大学机电学院053系教师,主要从事机械及自动化方向的教学和研究工作;

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[1]余厚云;邓善熙等.半导体芯片电路线宽显微测量精度分析[J].微计算机信息.20049

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